[发明专利]等离子处理装置有效
| 申请号： | 201280006986.2 | 申请日： | 2012-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN103459651A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 胜俣和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI;IHI机械系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C21D1/09;C21D1/773;F27D11/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在真空炉（1）内部对由金属材料构成的被处理物（X）进行通过等离子的表面改性的等离子处理装置（S1），等离子处理装置（S1）具备能够在真空炉（1）内部移动的可动式供电装置（14、15）。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子处理装置，在真空炉内部，对由金属材料构成的被处理物进行通过等离子的表面改性，其特征在于，具备：第1供电装置，对上述被处理物外加第1电压；和第2供电装置，对相对于上述被处理物对置配置的金属体外加与上述第1电压不同的第2电压；上述第1供电装置及上述第2供电装置的至少任一方由可动式供电装置构成，所述可动式供电装置能够在上述真空炉内部移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社IHI;IHI机械系统股份有限公司，未经株式会社IHI;IHI机械系统股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280006986.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
