[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机EL显示装置

摘要

具备：蒸镀源（60），该蒸镀源（60）具备放出蒸镀颗粒（91）的多个蒸镀源开口（61）；限制单元（80），该限制单元（80）具备多个限制开口（82）；和蒸镀掩模（70），该蒸镀掩模（70）仅在分别通过多个限制开口的蒸镀颗粒到达的多个蒸镀区域（72）内形成有多个掩模开口（71）。多个蒸镀区域，沿与基板（10）的法线方向和基板的移动方向正交的第二方向，夹着蒸镀颗粒不到达的非蒸镀区域（73）配置。在沿基板的法线方向看时，相对于与第二方向平行的直线上的非蒸镀区域，在基板的移动方向上的不同位置，形成有蒸镀颗粒通过的掩模开口。由此，能够在基板上的期望的位置稳定地形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。

主权项

一种蒸镀装置，其为在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置具备：蒸镀单元；和移动机构，该移动机构使所述基板和所述蒸镀单元中的一个，沿与所述基板的法线方向正交的第一方向，相对于所述基板和所述蒸镀单元中另一个相对移动，所述蒸镀单元具备：蒸镀源，该蒸镀源具备各自放出蒸镀颗粒的多个蒸镀源开口；限制单元，该限制单元具备从所述多个蒸镀源开口放出的所述蒸镀颗粒分别通过的多个限制开口；和蒸镀掩模，该蒸镀掩模仅在分别通过所述多个限制开口的所述蒸镀颗粒到达的多个蒸镀区域内形成有多个掩模开口，所述多个蒸镀区域，沿与所述法线方向和所述第一方向正交的第二方向，夹着所述蒸镀颗粒不到达的非蒸镀区域配置，在沿所述法线方向看时，相对于与所述第二方向平行的直线上的所述非蒸镀区域，在所述第一方向上的不同位置，形成有所述蒸镀颗粒通过的掩模开口。