[发明专利]异物检测装置和异物检测方法有效
| 申请号： | 201280007953.X | 申请日： | 2012-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103348235A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 爱甲健二;田中成弥;青木康子;川口浩;志村启 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01B11/30;G01N21/27;G01N21/35;H01M4/139 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测电极合剂的膜等、对象物的表面或该对象物之中所含的异物，提高该检查对象物的可靠性的异物检测装置和异物检测方法。通过向对象物照射太赫兹照明光(100)(波长4μm～10mm)，将来自作为对象物一例的电极(10)的散射光(660)由散射光检测器(200)作为信号进行检测，从而检测电极(10)的表面或电极(10)之中所含的异物、例如金属异物(720)。在此，通过在集电体(710)的两面、涂装有包含活性物质(701)和导电助剂和粘合剂作为构成要素的电极合剂层(700)而形成电极(10)，通过透射光(656)的一部分由金属异物(720)反射而产生散射光(660)。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种异物检测装置，其检测对象物的表面或该对象物之中的异物，其特征在于，含有：照明光发生部，其发生照射到所述对象物上的照明光；散射光检测部，其使用光接收元件将来自所述对象物的散射光作为信号加以检测，并且，所述照明光的波长为4μm～10mm。
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