[发明专利]位置控制装置

摘要

在使可动部移动的位置控制装置中提高追随性能。本发明的位置控制装置具有：可动部，其能够相对于基台部进行相对移动；位置检测部，其检测可动部相对于基台部的基准位置的位置；驱动部，其通过对可动部赋予驱动力而使可动部移动；控制部，其对驱动部的驱动力进行控制；以及输入部，其输入可动部的驱动目标位置，控制部根据校正系数和第2偏差确定对驱动部赋予的驱动力，所述校正系数基于由输入部输入的驱动目标位置与基准位置之差即第1偏差而取得，所述第2偏差是位置检测部的检测位置与由输入部输入的驱动目标位置之差。

主权项

一种位置控制装置，其特征在于，该位置控制装置具有：基台部；可动部，其能够相对于所述基台部进行相对移动；位置检测部，其检测所述可动部相对于所述基台部的基准位置的位置；驱动部，其通过对所述可动部赋予驱动力而使所述可动部移动；控制部，其对所述驱动部的驱动力进行控制；以及输入部，其输入所述可动部的驱动目标位置，所述控制部根据校正系数和第2偏差来确定对所述驱动部赋予的驱动力，所述校正系数基于由所述输入部输入的驱动目标位置与所述基准位置之差即第1偏差而取得，所述第2偏差是所述位置检测部的检测位置与由所述输入部输入的驱动目标位置之差。