[发明专利]基板支撑用的晶舟以及使用该晶舟的支撑单元

摘要

本发明公开了一种基板支撑用的晶舟以及使用该晶舟的支撑单元。本发明的基板支撑用的晶舟以及使用该晶舟的支撑单元，均匀地支撑基板的整体面，从而防止在处理基板时基板因自重而下垂的现象。因此，处理基板也不会引起基板特性的变化，从而提高基板处理工艺的可靠性。

主权项

一种基板支撑用的晶舟，对投入至基板处理装置的腔室而被进行处理的基板提供支撑，其特征在于，包括：相互面对的一对第一主杆；相互面对的一对第二主杆，其分别结合于所述第一主杆的上侧，且分别平行于所述第一主杆，用于接触和支撑所述基板的边缘部；多个第一连接杆，连接所述一对第一主杆；多个分隔支撑销，其设置在所述第一主杆以及所述第二主杆上，将由所述第二主杆形成的空间分隔成多个空间，使多个基板被所述第二主杆形成的空间分隔并支撑，并且，所述分隔支撑销与所述多个基板的角部接触，以防止多个所述基板游动。