[发明专利]蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法

摘要

蒸镀颗粒射出装置(30)包括设置有第一喷嘴部和第二喷嘴部(50、60)的中空的旋转体(40)、旋转机构和热交换器(52、62)，当通过旋转机构使旋转体(40)旋转时，热交换器(52、62)与各喷嘴部的配置相应地切换冷却和加热，使面向外部的喷嘴部比蒸镀材料成为气体的温度低，使另一喷嘴部成为蒸镀材料成为气体的温度以上的温度。

主权项

一种蒸镀颗粒射出装置，其具备对蒸镀材料进行加热而产生气态的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒产生部，对蒸镀材料进行加热而形成气态的蒸镀颗粒，将该气态的蒸镀颗粒向外部射出，所述蒸镀颗粒射出装置的特征在于，包括：中空的旋转体，该旋转体至少设置有一组在所述贯通口的开口方向上相对且对称地设置的成对的喷嘴部，该成对的喷嘴部各自具有使所述蒸镀颗粒射出的多个贯通口；旋转机构，其使所述旋转体旋转，将所述成对的喷嘴部的配置调换；和与各喷嘴部对应地设置的多个温度调整部件，设置于所述旋转体的喷嘴部中的一个喷嘴部由所述旋转机构保持为面向外部，面向外部的喷嘴部由对应的温度调整部件冷却至比蒸镀材料成为气体的温度低的温度，与面向外部的喷嘴部成对的喷嘴部，由对应的温度调整部件加热至蒸镀材料成为气体的温度以上的温度，当通过所述旋转机构使所述旋转体旋转时，所述各温度调整部件根据所述各喷嘴部的配置，切换所述冷却和加热。