[发明专利]使用冲压类型技术以形成挠性基板的工艺无效
申请号: | 201280014128.2 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN103430328A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | J·特勒;B·J·墨菲;D·H·米金 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/042;B26F1/40 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张欣 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的实施例大体而言是关于形成供光电模组使用的挠性基板的方法。所述方法包括以下步骤:使金属箔成形,且将该金属箔粘接于挠性背板。可随后将任选的层间电介质及抗锈材料涂敷于设置在挠性背板上的经成形金属箔的上表面。可使用刀模切割、辊切割或激光切割技术使金属箔成形。刀模切割、辊切割及激光切割技术藉由省略先前用以图案化金属箔的防染印花及蚀刻步骤简化挠性基板形成工艺。此外,刀模切割、辊切割及激光切割技术减少先前用于图案化金属箔的耗材的消耗。 | ||
搜索关键词: | 使用 冲压 类型 技术 形成 挠性基板 工艺 | ||
【主权项】:
一种形成供光电模组使用的挠性基板的方法,所述方法包括以下步骤:将金属箔定位于冲压机内;致动所述冲压机,以形成经成形金属箔;将挠性背板定位为邻近于所述冲压机内的所述经成形金属箔;将粘接剂涂敷于所述挠性背板或所述经成形金属箔;及将压力施加于所述挠性背板、所述经成形金属箔及所述粘接剂,以将所述经成形金属箔粘接于所述挠性背板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的