[发明专利]静电夹盘的氮化铝电介质修复

摘要

本发明一般涉及一种刷新的静电夹盘与一种用于刷新已使用的静电夹盘的方法。一开始，从已使用的静电夹盘移除预定量的电介质材料，以留下基部表面。接着，粗糙化所述基部表面，以提高新的电介质材料对基部表面的粘着性。接着，在粗糙化表面上喷洒新的电介质材料，然后在新的电介质材料上方放置掩模，以助于形成台面，其中在处理期间基板将座落在所述台面上。接着移除一部分新的电介质层，以形成新的台面。在移除掩模之后，台面的边缘变得平滑，且经刷新的静电夹盘可在清洁之后准备返回作业。

主权项

一种用于刷新静电夹盘的方法，所述方法包含以下步骤：测量在静电夹盘主体的上表面下方的电极的深度；回应于测量的所述深度，确定所述静电夹盘主体的待移除部分的厚度；移除所述静电夹盘主体的所述部分，以暴露基部表面；粗糙化所述基部表面；在粗糙化基部表面上等离子体喷洒电介质材料，以于所述基部表面上形成喷洒材料的电介质层；压缩所述喷洒材料的电介质层；以及选择性移除压缩的所述喷洒材料的电介质层中的材料，以建立新的上表面。