[发明专利]下层部件的固定装置及具有该固定装置的流体控制装置

摘要

本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。

主权项

一种下层部件的固定装置，是将配置在支承部件与上层部件之间的带有螺栓穿插孔的下层部件通过螺栓而固定在支承部件上的装置，下层部件的螺栓穿插孔由大径部以及小径部构成，所述大径部具有比螺栓头部的直径更大的直径，所述小径部经由层差部与所述大径部的下方相连，并且具有尺寸处于螺栓头部的直径与螺栓轴部的直径之间的直径，在螺栓穿插孔的小径部中嵌入有圆筒状隔垫物，所述圆筒状隔垫物具有比螺栓轴部的直径更大的内径，并且其下端支承在支承部件上且其上端位于大径部内，在螺栓头部与层差部之间夹设有将下层部件向着支承部件弹压的弹性部件，所述下层部件的固定装置的特征在于，弹性部件在其外周面、内周面、上表面以及下表面的至少一个部位上设有用于能够使弹性部件相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口。