[发明专利]用于材料供应设备的过滤器有效
申请号: | 201280024335.6 | 申请日: | 2012-03-20 |
公开(公告)号: | CN103561839B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | I·V·福缅科夫;W·N·帕特洛;G·O·瓦斯恩冦;W·奥尔德姆 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | B01D35/00 | 分类号: | B01D35/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 王茂华,吕世磊 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种在目标材料供应设备中使用的过滤器,该过滤器包括具有第一平坦表面和第二平坦表面以及多个通孔的薄片。第一平坦表面与保持有目标混合物的储蓄容器流体连接,该目标混合物包括目标材料和非目标微粒。通孔从第二平坦表面延伸并在第二平坦表面处流体联接至喷嘴孔。薄片具有暴露于目标混合物的表面积,该暴露表面积不大于与该薄片具有相同横向范围的烧结过滤器的暴露表面积的百分之一。 | ||
搜索关键词: | 用于 材料 供应 设备 过滤器 | ||
【主权项】:
一种用于将目标材料供应至目标位置的设备,所述设备包括:储蓄容器,所述储蓄容器保持包括所述目标材料和非目标微粒的目标混合物,所述目标材料在转换成等离子时具有有在远紫外线(EUV)范围内的射线的元素;第一过滤器,所述目标混合物经过所述第一过滤器;第二过滤器,所述目标混合物经过所述第二过滤器;供应系统,所述供应系统包括接收所述目标混合物的孔,所述目标混合物包括目标材料,所述目标材料已经通过所述第一和第二过滤器,所述供应系统通过使被过滤的所述目标混合物通过所述孔而将所述目标混合物供应至所述目标位置;以及支架,所述支架容纳所述供应系统,所述支架包括面,并且所述第二过滤器气密性地密封到所述面,其中,所述第二过滤器包括:一组通孔,所述一组通孔在第一端处流体联接至所述储蓄容器并且在第二端处流体联接至所述孔;以及在所述一组通孔的所述第一端与所述储蓄容器之间的开口,所述开口将所述一组通孔流体联接至所述储蓄容器,并且所述开口的横截面宽度大于任何所述通孔的横截面宽度,所述第二过滤器包括朝向所述储蓄容器定向的第一平坦表面,所述开口从所述第一平坦表面朝向所述孔延伸,所述第二过滤器包括朝向所述孔定向的第二平坦表面,所述通孔从所述第二平坦表面朝向所述储蓄容器延伸,并且所述第二过滤器包括边缘,所述第二过滤器在所述第一平坦表面和所述第二平坦表面的所述边缘处气密性地密封到所述支架。
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