[发明专利]湿度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201280027927.3 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103748457A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 新美直久;酒井峰一 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种湿度传感器包括：湿度检测部（30）、焊盘部（40）以及堤坝部（60）。所述湿度检测部（30）包括在基板（20）的预定表面（20a）上彼此面对的一对检测电极（31a，31b）以及覆盖所述检测电极（31a，31b）的湿度灵敏膜（36）。所述焊盘部（40）在所述表面（20a）上与所述湿度检测部（30）分离并且覆盖有保护凝胶部（50）。所述堤坝部（60）在所述表面（20a）上位于所述湿度检测部（30）和所述焊盘部（40）之间。所述堤坝部（60）包括由与所述检测电极（31a，31b）相同的材料制成的堤坝导线（61，81）以及由与所述湿度灵敏膜（36）相同的材料制成的堤坝湿度灵敏膜（62），并且所述堤坝部（60）至少覆盖部分所述堤坝导线（61，81）。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种湿度传感器，包括：湿度检测部（30），所述湿度检测部（30）包括一对检测电极（31a，31b）和湿度灵敏膜（36），所述检测电极（31a，31b）在基板（20）的湿度检测部形成表面（20a）上彼此面对，所述湿度灵敏膜（36）覆盖所述检测电极（31a，31b）和所述检测电极（31a，31b）之间的间隙；作为外部连接端子的焊盘部（40），所述焊盘部（40）在所述基板（20）的所述湿度检测部形成表面（20a）上与所述湿度检测部（30）分离并且在键合线（115）连接至所述焊盘部（40）的情况下覆盖有保护凝胶部（50）；以及堤坝部（60），所述堤坝部（60）在所述基板（20）的所述湿度检测部形成表面（20a）上位于所述湿度检测部（30）和所述焊盘部（40）之间，用以限制所述保护凝胶部（50）从所述焊盘部（40）侧流动至所述湿度检测部（30）侧，其中所述堤坝部（60）包括堤坝导线（61，81）和堤坝湿度灵敏膜（62），所述堤坝导线（61，81）由与所述检测电极（31a，31b）相同的材料制成并且与所述检测电极（31a，31b）位于相同的表面上，并且所述堤坝湿度灵敏膜（62）由与所述湿度灵敏膜（36）相同的材料制成并且至少覆盖部分所述堤坝导线（61，81）。
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