[发明专利]用于减少对来自气体发送板的排气的洗涤的系统和方法

摘要

本发明提供一种方法和仪器，用于通过增加潜在的高点燃风险的区域中的空气速度，减少对来自气体板的排气的洗涤、降低操作的成本、降低便利成本和功耗。所述仪器包含经由具有单独的分散喷嘴的管道提供压缩的干燥空气（CDA）的部件。CDA分散喷嘴可以安装在各种关键位置，用以提供附加的通风湍流并减小气体板内的潜在死区。本发明的各方面通过减小功耗，帮助保存能量并保护环境。此外，应该通过将潜在的点燃风险最小化来改善人类安全。

主权项

一种与气体源、压缩空气源和腔室一起使用的气体板，所述气体源能操作来提供气体流，所述压缩空气源能操作来提供压缩空气的流，所述气体板包括：第一气体提供线，其配置为从所述气体源接收气体；压缩空气提供线，其配置为从所述压缩空气源接收压缩空气；质量流量控制器，其能操作来通过所述第一气体提供线接收所述气体，并提供所述气体的可控输出流；阀，其能操作来处于第一状态和第二状态，以在处于所述第一状态时，使所述气体的所述流的第一量传递至所述腔室，在处于所述第二状态时，使所述气体的所述流的第二量传递至所述腔室；排气部分，其在所述阀处于所述第一状态时，能操作来去除未传递至所述腔室的所述气体的所述流的部分；喷嘴，其能操作来通过所述压缩空气提供线接收所述压缩空气；以及外壳，其中，所述第一气体提供线、所述压缩空气提供线、所述质量流量控制器、所述阀和所述喷嘴设置在所述外壳内，其中，在所述阀处于所述第一状态时，所述喷嘴能操作来提供所述外壳内的所述压缩空气的输出流，以提供未传递至所述腔室的所述气体的所述流的所述部分的流。