[发明专利]沉积方法及装置

摘要

本发明首先涉及一种在基底(11)上沉积由有机原始材料构成的层的方法，其中，将有机原始材料作为形式为载气流中的悬浮粒子的气溶胶送入蒸发器(1)，所述悬浮粒子从而在该蒸发器内与由温控装置加热的传热面(15)接触并在经过一段亦与该传热面(15)的温度有关的平均停留时间后蒸发，其中，以该载气为输出气流将由此产生的蒸气自该蒸发器(1)送入处理室(10)，该蒸气在该处理室内于该基底(11)表面发生冷凝并形成层。为了减小气溶胶蒸发所产生的蒸气随时间的波动率，本发明提出如下解决方案改变该传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化(c)。本发明还涉及一种用于蒸发由载气流输送的有机悬浮粒子的装置及一种用于沉积OLED的装置。

主权项

一种将由有机原始材料构成的层沉积于基底(11)上的方法，其中，将有机原始材料在蒸发器(1)内通过与由温控装置加热的传热面(15)的接触而以一个也与所述传热面(15)的温度有关的每单位时间质量进行蒸发，其中，将由此产生的蒸气由作为输出气流的载气自该蒸发器(1)送入处理室(10)中，所述蒸气在所述处理室内于所述基底(11)的表面上发生冷凝并形成层，其中，通过传感器(13)测量在输出气流中所产生的蒸汽并且改变所述传热面(15)的温度以响应所产生蒸气在该输出气流内随时间的质量流量变化，其特征在于，将有机原始材料作为悬浮粒子形式的气溶胶在作为输入气流的载气气流中作为随时间变化的质量流量送入所述蒸发器，并且在所述蒸发器内作为未蒸发原始材料在其与所述传热面(15)的温度有关的所述蒸发器(1)内的平均停留时间内形成缓冲质量，其中，所述质量流量随时间的波动补偿的方式是，通过提高温度在秒或次秒范围内的第一时间段内增大离开所述蒸发器(1)的已蒸发的原始材料质量流量并且通过降低温度在所述第一时间段内减小离开所述蒸发器(1)的已蒸发原始材料质量流量，但在相当于第一时间段的十倍并且为若干秒范围内的第二时间段内使每单位时间进入所述蒸发器(1)中的质量流量等于离开所述蒸发器(1)的质量流量。