[发明专利]真空蒸镀装置无效
| 申请号： | 201280033540.9 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN103649364A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 宫川展幸;西森泰辅;安食高志;北村一树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 目的在于，在真空蒸镀装置中，在使用了多个蒸发源时，不易发生在被蒸镀体上形成的蒸镀膜的不均，能够形成所希望的膜厚的蒸镀膜。真空蒸镀装置（1）具备：多个蒸发源（3）；将蒸发源（3）及被蒸镀体（2）之间的空间包围、在被蒸镀体侧具有开口面（41）的筒状体（4）。并且，具备在筒状体（4）的内部配置的分隔板（7）。分隔板（7）具有开口部（70），开口部（70）在以重心（P）为中心的直径（D）的圆周范围内设有至少1个以上，直径（D）是分隔板（7）的外周上的2点间距离中的最大值的2/3。根据该构成，能够使从分隔板（7）的开口部（70）流向被蒸镀体（2）侧的气化材料的流束分布相同，因此在使用了多个蒸发源（3）时，不易发生在被蒸镀体（2）上形成的蒸镀膜的不均，能够获得所希望的膜厚的蒸镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀装置，具备：用于在被蒸镀体上蒸镀多种材料的多个蒸发源；将上述多个蒸发源及上述被蒸镀体之间的空间包围、在上述被蒸镀体侧具有开口面的筒状体；使配置上述被蒸镀体、上述蒸发源以及上述筒状体的空间为真空状态的真空室，该真空蒸镀装置的特征在于，具备在上述筒状体的内部配置的分隔板，上述分隔板具有开口部，该开口部在以上述分隔板的平面视形状的重心为中心的直径D的圆周范围内设有至少1个以上，上述直径D是上述分隔板的外周上的2点间距离中的最大值的2/3。
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