[发明专利]紫外线发光二极管用多量子阱及其制造方法在审
申请号: | 201280035692.2 | 申请日: | 2012-07-16 |
公开(公告)号: | CN103703576A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 赵炳求;闵在植;权世薰 | 申请(专利权)人: | 芯片科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/06 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 郭放;许伟群 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种紫外线发光二极管用多量子阱,包括:Alx1Ga1-x1N势垒部,其交替配置有AlN势垒原子层与所述AlN势垒原子层上的GaN势垒原子层;以及Alx2Ga1-x2N量子阱部,其在所述Alx1Ga1-x1N势垒部上形成并交替配置有AlN阱原子层与在所述AlN阱原子层上形成的GaN阱原子层,其中,所述Alx1Ga1-x1N势垒部的Al组成比(x1)为0至0.7,所述Alx2Ga1-x2N量子阱部的Al组成比(x2)为0至0.7,所述Alx1Ga1-x1N势垒部的Al组成比(x1)大于所述Alx2Ga1-x2N量子阱部的Al组成比(x2),所述Alx1Ga1-x1N势垒部与所述Alx2Ga1-x2N量子阱部交替层叠2次以上。 | ||
搜索关键词: | 紫外线 发光 二极 管用 多量 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种紫外线发光二极管用多量子阱,其包括:Alx1Ga1‑x1N势垒部,其交替配置有AlN势垒原子层和所述AlN势垒原子层上的GaN势垒原子层;以及Alx2Ga1‑x2N量子阱部,其在所述Alx1Ga1‑x1N势垒部上形成并交替配置有AlN阱原子层和在所述AlN阱原子层上形成的GaN阱原子层,其中,所述Alx1Ga1‑x1N势垒部的Al组成比(x1)为0至0.7,所述Alx2Ga1‑x2N量子阱部的Al组成比(x2)为0至0.7,所述Alx1Ga1‑x1N势垒部的Al组成比(x1)大于所述Alx2Ga1‑x2N量子阱部的Al组成比(x2),所述Alx1Ga1‑x1N势垒部与所述Alx2Ga1‑x2N量子阱部交替层叠2次以上。
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