[发明专利]弹性波装置

摘要

提供一种弹性波装置，利用在LiNbO3基板中传播的SH型板波，可有效地提高机电耦合系数k2，因此能扩大相对带宽。一种弹性波装置(1)，其利用了在LiNbO3基板中传播的SH型板波，具备LiNbO3基板(3)、被设置在LiNbO3基板(3)的至少一个面的IDT电极(4)、以及在设置有所述IDT电极(4)的区域的外侧按照支撑所述LiNbO3基板(3)的方式与该LiNbO3基板(3)接合的支撑体(2)，所述LiNbO3基板(3)的欧拉角(0°，θ，0°)中，θ处于92°～138°的范围内，在将由所述IDT电极(4)的电极指间距决定的波长设为λ时，LiNbO3基板(3)的厚度处于0.05λ～0.25λ的范围内。

主权项

一种弹性波装置，其利用了在LiNbO3基板中传播的SH型板波，具备：所述LiNbO3基板；被设置于所述LiNbO3基板的至少一个面的叉指换能器电极；以及在设有所述叉指换能器电极的区域的外侧，直接形成于所述LiNbO3基板，来支撑该LiNbO3基板的支撑体，所述LiNbO3基板的欧拉角(0°，θ，0°)中，θ处于92°～138°的范围内，在将由所述叉指换能器电极的电极指间距决定的波长设为λ时，所述LiNbO3基板的厚度处于0.05λ～0.25λ的范围内，所述叉指换能器电极由以下述表1所示的金属的任一种为主成分的金属构成，根据该金属的种类而设为下述表1所示的范围内的膜厚，[表1] IDT电极膜厚Pt超过0且为0.083λ以下Au超过0且为0.055λ以下Cu超过0且为0.11λ以下Ni超过0且为0.16λ以下Al超过0且为0.135λ以下