[发明专利]辐射源和光刻设备有效
| 申请号： | 201280042339.7 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN103765998A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | H·斯希梅尔;J·迪吉克斯曼;D·兰贝特斯基 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供用于促进通过用于光刻设备中的辐射源液滴束流生成装置生成的束流中的燃料液滴的聚结的方法和设备。描述了多个示例，其中调制电压源被应用于发射器，使得液滴的电特性可以被控制。这导致束流中的液滴的加速和减速，引起它们合并和促进聚结。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种辐射源的燃料液滴束流生成装置，包括：燃料液滴发射器，连接至调制电压源，所述调制电压源配置成施加第一电压至燃料液滴束流的第一部分并施加第二电压至燃料液滴束流的第二部分，第一电极，位置靠近燃料液滴发射器，第二电极，位置远离燃料液滴发射器，和电压源，配置成在第一和第二电极之间施加电势差并由此在第一和第二电极之间生成电场，该电场施加减速作用力至燃料液滴束流的第一和第二部分中的一个部分并施加加速作用力至燃料液滴束流的第一和第二部分中的另一个部分。
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