[发明专利]用于真空处理设备的旋转台滑架有效
| 申请号： | 201280045556.1 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103797154A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | J.格韦亨贝格尔 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵辛;杨国治 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一个真空处理设备，具有旋转台滑架，其中旋转台驱动装置设置在那个壁体上，该壁体位于真空处理设备的门对面。由此保证没有其它机构地连接旋转台滑架的旋转台到旋转台驱动装置上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 处理 设备 旋转 台滑架 | ||
【主权项】：
一种真空处理设备，具有真空室（303）和带有旋转台（205）的旋转台滑架（201），其中所述真空室（303）具有门（305）和旋转台驱动装置（101），其特征在于，所述旋转台驱动装置（101）是圆周驱动，它在门（305）对面的真空室（303）的壁体上和/或壁体附近位于壁体里面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫），未经欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280045556.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：衣物处理机
- 下一篇：G形夹用于改进的等位基因特异性PCR的用途
- 同类专利
- 专利分类
