[发明专利]表面具有微细凹凸结构的构件的检查装置及检查方法、表面具有阳极氧化铝层的构件的制造方法、以及光学薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 201280046980.8 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103842803A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 福山三文;石丸辉太;松原雄二 | 申请（专利权）人： | 三菱丽阳株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够简便地检查阳极氧化铝表面的微细凹凸结构的形状、阳极氧化铝的厚度的检查装置和检查方法等。本发明的阳极氧化铝的检查装置的特征在于，其具备：照射单元（22），对检查对象的阳极氧化铝照射光；摄像单元（24），对通过偏振单元的光进行拍摄；偏振单元（28），使从照射单元照射出的光偏振；以及图像处理单元（26），基于由使用摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断阳极氧化铝的状态是否良好。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 具有 微细 凹凸 结构 构件 检查 装置 方法 阳极 氧化铝 制造 以及 光学薄膜 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其特征在于，其是构件的检查装置，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该装置具备：照射单元，对检查对象的构件照射照射光；摄像单元，对由所述构件反射的反射光进行拍摄；偏振单元，使所述照射光或朝向该摄像单元入射的所述反射光偏振；以及图像处理单元，基于由使用所述摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断所述构件的表面状态是否良好。
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