[发明专利]形状检查方法及其装置有效
| 申请号： | 201280052260.2 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104024793B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 谷口敦史;酒井薰;丸山重信;前田俊二 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三维形状检查方法及其装置，通过互补地组合多种三维形状计测法、表面计测方法，不受测定对象的形状影响地确保高的计测精度。本发明提供一种三维形状检查装置，其特征在于，具备取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；取得上述检查对象的与上述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；和对上述第一形状数据和上述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 检查 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种三维形状检查装置，其特征在于，具备：取得检查对象的第一形状数据的第一三维形状传感器；取得所述检查对象的与所述第一形状数据不同的第二形状数据的第二三维形状传感器；对所述第一形状数据和所述第二形状数据进行校正、整合的互补整合部；和从多个方向对所述检查对象照射照明光的照明部，所述第一三维形状传感器是计测三维形状的点群的点群计测传感器，所述第二三维形状传感器是将三维形状作为二维的图像数据来取得的二维摄像机，所述第二三维形状传感器取得通过由所述照明部从不同的方向照射照明光而得到的多个形状数据，在所述互补整合部中，使用由所述第一三维形状传感器取得的所述第一形状数据对由所述第二三维形状传感器取得的所述第二形状数据的系统误差进行校正，对所述第一形状数据和校正后的所述第二形状数据进行整合。
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