[发明专利]切断性优秀的半导体晶片表面保护用粘结膜有效
申请号: | 201280053079.3 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103906819A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 金章淳;赵显珠;徐周用 | 申请(专利权)人: | 乐金华奥斯有限公司 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C08J5/18;C08J7/04;H01L21/301 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋;杨生平 |
地址: | 韩国首*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体晶片表面保护用粘结膜,其基材膜的一侧表面形成有粘结层,其特征在于,上述基材膜的拉伸强度为2~10kg/mm2且断裂延伸率为50~200%,上述粘结层的凝胶含量为80%以上。上述晶片保护用粘结膜能够确保切割性及切断性,防止晶片薄膜化引起弯曲及晶片破损的现象,在高温下也不发生溶解等现象,因而晶片研磨时能够提高收率。 | ||
搜索关键词: | 切断 优秀 半导体 晶片 表面 保护 粘结 | ||
【主权项】:
一种半导体晶片表面保护用粘结膜,其基材膜的一侧表面形成有粘结层,其特征在于,上述基材膜的拉伸强度为2~10kg/mm2且断裂延伸率为50~200%,上述粘结层的凝胶含量为80%以上。
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