[发明专利]固化性组合物、涂布用组合物、固化膜、激光加工方法及多层布线结构体的制造方法无效
| 申请号： | 201280055867.6 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103946326A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 伊藤昌宏;鹤冈薰;桑名保宏;永井雄介 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C09D171/10 | 分类号： | C09D171/10;B23K26/00;B23K26/382;H01L21/302;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/532 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可获得介电常数低、吸水性低且可进行激光加工的固化膜的固化性组合物、该固化膜的激光加工方法及多层布线结构体的制造方法。包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)的固化性组合物、对使该组合物固化而得的固化膜照射激光而除去该固化膜的一部分的激光加工方法、包括通过该加工方法在由该固化膜形成的绝缘膜上形成通孔的工序的多层布线结构体的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 组合 涂布用 激光 加工 方法 多层 布线 结构 制造 | ||
【主权项】：
固化性组合物，它是用于获得一部分通过激光的照射被除去的固化膜的固化性组合物，其特征在于，包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)。
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