[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201280057813.3 | 申请日： | 2012-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103999186A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 海老根裕太;富田真一;伊东祐博;青岛利裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术;东陶机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/252 | 分类号： | H01J37/252;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/29 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴秋明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
一种带电粒子线装置，具备X射线检测器，所述带电粒子线装置的特征在于，在与所述X射线检测器的X射线检测面同轴上与所述X射线检测器一体或独立地配置第1反射电子检测器，并且具有同时或个别地由所述X射线检测器检测X射线信号、由所述第1反射电子检测器检测反射电子信号的功能。
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