[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序以及非暂时性电脑可读媒体

摘要

提供一种形状测定装置，其具有照射部，对测定对象的测定区域照射测定光；摄影部，取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像；载台，载置前述测定对象；坐标算出部，从以检测部检测出的像算出前述测定区域的位置；以及定位机构，将前述摄影部与前述载台相对驱动控制。前述定位机构，根据前述测定对象反复的凹凸形状中前述测定区域的凸部的棱线方向或凹部连接的方向的信息，算出前述摄影部与前述载台的相对位置，并使前述载台与前述摄影部中的至少一者移动。

主权项

一种形状测定装置，测定测定对象的形状，其特征在于其具有：照射部，对测定对象的测定区域照射测定光；摄影部，取得包含被前述照射部照射的位置的前述测定区域的像；载台，载置前述测定对象；坐标算出部，从以前述摄影部检测出的像算出前述测定区域的位置；以及定位机构，将前述摄影部与前述载台相对驱动控制，其中，前述定位机构配置为，根据前述测定对象反复的凹凸形状中前述测定区域的凸部的棱线方向或凹部连接的方向的信息，设定前述摄影部与前述载台的相对位置，并使前述载台与前述摄影部中的一者相对彼此而移动，其中，前述定位机构配置为，是以将前述测定光从第1方向照射于前述测定区域和从与前述凸部的棱线方向对应的第2方向拍摄前述测定区域中的像的方式，设定前述照射部与前述摄影部相对前述测定对象的相对位置，其中，与前述测定对象的表面的法线方向对应而决定的方向为前述第1方向，其中，前述第2方向是测定部位的凸部或凹部在从摄影部观看时不被相邻的凸部遮隐的方向，其中，前述定位机构具备旋转移动部，该旋转移动部是在前述测定对象所具有的周方向的反复形状的测定时以使被照射前述测定光的前述测定区域的位置移动于与周方向对应的第3方向的方式使前述照射部与前述测定对象相对移动；其中，前述定位机构进一步具有相对移动部，该相对移动部配置为是以使移动于与前述凸部的棱线方向所延伸的方向对应而决定的第4方向的方式使前述照射部与前述测定对象相对移动，其中，前述照射部照射前述测定光于一方向上，使得藉由前述测定光被形成于前述测定对象上的光切断线相对于前述周方向及前述凸部的棱线方向所延伸的方向的两方倾斜。