[发明专利]溅镀装置、靶材及护罩有效
| 申请号： | 201280061176.7 | 申请日： | 2012-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN103987873A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 石原繁纪 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅镀装置，具有：背垫板、用以将靶材固定在所述背垫板的固定部、及包围所述靶材的周围的护罩。所述护罩具有开口部，所述固定部构成为通过将所述靶材的周边部按压在所述背垫板上，将所述靶材固定在所述背垫板上。所述护罩具有：没有介于其中的所述固定部而与所述背垫板相面对的面对部、及在所述面对部的外侧形成的外侧部，在所述面对部与所述背垫板之间的间隔小于所述外侧部与所述背垫板之间的间隔。此外，所述护罩的面向所述处理空间的内面包含以所述内面与所述背垫板的距离随着由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 护罩 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，具有：背垫板、用以将靶材固定在所述背垫板的固定部、及包围所述靶材的周围的护罩，该溅镀装置在处理空间中通过溅镀而在基板上形成膜，其特征为：所述护罩具有开口部，所述固定部构成为通过将所述靶材的周边部按压在所述背垫板上，将所述靶材固定在所述背垫板上，所述护罩具有：没有介于其间的所述固定部而与所述背垫板相面对的面对部、及在所述面对部的外侧形成的外侧部，在所述面对部与所述背垫板之间的间隔小于所述外侧部与所述背垫板之间的间隔，以及所述护罩的面向所述处理空间的内面包含以所述内面与所述背垫板的距离随着由所述外侧部朝向所述面对部减小的方式呈倾斜的部分。
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