[发明专利]薄板部件移载装置有效
| 申请号： | 201280062229.7 | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103999206A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 藤原弘一;藤原贤司 | 申请（专利权）人： | 福来斯科精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种薄板部件移载装置，即使在薄板部件以狭小的间隔收纳于收纳部件内的情况下，也能够可靠地保持并移载。薄板部件移载装置(1)将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件(5)的多张薄板部件(3)移载到第二收纳部件(8)，所述薄板部件移载装置(1)具备：保持移动部件(10)、(20)，它们具有多个保持件(11)、(21)，将薄板部件(3)以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件(3)移动；第一突出部件(50)，其以每隔规定的张数的方式将被收纳于第一收纳部件的薄板部件(3)顶起，用以在第一收纳部件(5)和保持移动部件(10)、(20)之间进行薄板部件(3)的交接；以及第二突出部件(60)，其在保持移动部件(10)、(20)和第二收纳部件(8)之间进行薄板部件(3)的交接。 | ||
| 搜索关键词： | 薄板 部件 装置 | ||
【主权项】：
一种薄板部件移载装置，其将以规定的间隔排列收纳于第一收纳部件的多张薄板部件移载到第二收纳部件，所述薄板部件移载装置的特征在于，其具备：保持移动部件，其具有以规定的间隔设置的多个保持件，用以一张一张地保持所述薄板部件，所述保持移动部件将所述薄板部件以多张集中起来的方式以规定的间隔进行保持并使所述薄板部件移动；第一突出部件，其以每隔规定的张数的方式支承被收纳于所述第一收纳部件的所述薄板部件，并朝向所述保持移动部件突出，用以在所述第一收纳部件和所述保持移动部件之间进行所述薄板部件的交接；以及第二突出部件，其支承被所述保持移动部件移动到所述第二收纳部件的附近的多张所述薄板部件，并将该多张所述薄板部件收纳到所述第二收纳部件，用以在所述保持移动部件和所述第二收纳部件之间进行所述薄板部件的交接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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