[发明专利]自动外观检查装置

摘要

本发明提供一种自动外观检查装置，其能够不受摄像机的处理能力的制约而缩短检查时间。具体而言，该自动外观检查装置的特征在于，具有：载台部、扫描台部、闪光灯照明部、镜筒部、摄像部、以及检查部，所述检查部根据预先登记的检查条件，判断所摄像的检查对象物的图像是否良好，扫描台部具有测量载台部的当前位置的位置测量单元，镜筒部具有使观察光的一部分透射并且使一部分改变角度而进行反射的光分支单元，镜筒部安装有多个摄像部，使得能够分别对光分支单元所分支的光进行摄像，控制部具有对于每次摄像逐次切换用于摄像的摄像部来进行摄像的功能。

主权项

一种自动外观检查装置，该自动外观检查装置是对形成在检查对象物上的图案的缺陷进行检测的检查对象物检查装置，其特征在于，具有：载台部，其载置所述检查对象物；扫描台部，其使所述载台部在规定的方向上扫描移动；照明部，其朝向所述检查对象物照射照明光；镜筒部，其将从所述照明部照射并被所述检查对象物反射的光或者透射过所述检查对象物的光作为观察光进行引导；摄像部，其安装在所述镜筒部上，对所述观察光进行摄像；控制部，其一边使所述扫描台部移动，一边使所述照明部发光，进行所述观察光的摄像；以及检查部，其根据预先登记的检查条件，判断所述摄像的所述检查对象物的图像是否良好，所述扫描台部具有测量所述载台部的当前位置的位置测量单元，所述镜筒部具有光分支单元，该光分支单元使所述观察光的一部分透射，并且使一部分改变角度而反射，所述镜筒部安装有多个所述摄像部，使得能够分别对所述光分支单元所分支的光进行摄像，所述控制部具有对于每次所述摄像逐次切换用于所述摄像的所述摄像部来进行摄像的功能。