[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201280069809.9 | 申请日: | 2012-02-16 |
公开(公告)号: | CN104115275B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 辻内幹夫;新田哲也 | 申请(专利权)人: | 瑞萨电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在重视电流的IGBT中,集电极用导电层(PR1)针对集电极区域(CR)中包含的1个集电极用活性区域(CRa)通过多个接触进行连接。针对1个集电极用活性区域(CRa)的集电极用导电层(PR1)的接触部的个数多于针对基极区域(BR、BCR)中包含的1个基极用活性区域(BCR)的发射极用导电层(PR2)的接触部的个数。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,具备:半导体基板(SUB),具有主表面;以及绝缘栅极双极型晶体管,形成于所述主表面,所述绝缘栅极双极型晶体管包括:第1导电类型的集电极区域(CR),形成于所述主表面;第1导电类型的基极区域(BR、BCR),与所述集电极区域(CR)分开地形成于所述主表面;以及第2导电类型的发射极区域(ER),形成于所述基极区域(BR、BCR)内的所述主表面,所述半导体装置还具备:发射极用导电层(PR2),与所述绝缘栅极双极型晶体管的所述基极区域(BR、BCR)以及所述发射极区域(ER)这两者连接,并且在与所述基极区域(BR、BCR)以及所述发射极区域(ER)这两者之间构成发射极连接部;以及集电极用导电层(PR1),与所述绝缘栅极双极型晶体管的所述集电极区域(CR)连接,并且在与所述集电极区域(CR)之间构成集电极连接部,所述集电极用导电层(PR1)通过多个接触部对所述集电极区域(CR)中包含的1个集电极用活性区域(CRa)进行连接,针对1个所述集电极用活性区域(CRa)的所述集电极用导电层(PR1)的所述接触部的个数多于针对所述基极区域(BR、BCR)中包含的1个基极用活性区域(BCR)的所述发射极用导电层(PR2)的接触部的个数,所述基极区域(BR、BCR)和所述发射极用导电层(PR2)的所述发射极连接部的面积(SB11)相对所述基极区域(BR、BCR)的所述主表面中的面积(SA11)之比(SB11/SA11)大于所述集电极区域(CR)和所述集电极用导电层(PR1)的所述集电极连接部的面积(SB12)相对所述集电极区域(CR)的所述主表面中的面积(SA12)之比(SB12/SA12)。
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