[发明专利]用于压印的结构印模、装置以及方法有效
申请号: | 201280074370.9 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN104704425B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | P.菲舍尔;G.克赖因德尔;J.哈明;C.塔纳;C.舍恩 | 申请(专利权)人: | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 陈浩然;宣力伟<国际申请>=PCT/EP |
地址: | 奥地利圣*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | 本发明涉及结构印模(5),带有:具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1),印模面(2)用于将与印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上;框架(3),其用于夹紧印模(1)。此外,本发明涉及用于将压印图案压印在压印面(6o)上的装置,带有以下特征:印模容纳部,其用于容纳根据上述权利要求中任一项所述的结构印模(5)且使之运动;压印材料容纳部,其用于相对于结构印模(5)容纳和布置压印材料(6);压印元件驱动部,其用于使尤其根据权利要求3、4、7或8中任一项构造的压印元件(8)沿着结构印模(5)运动。此外,本发明涉及对应的方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 压印 结构 印模 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种结构印模(5),带有/n-具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1),印模面(2)用于将与所述印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上,/n-框架(3),其用于夹紧所述柔性印模(1),/n其特征在于,所述柔性印模(1)如此柔性地来构造,即,所述柔性印模(1)能够借助于压印元件(8)利用线性力伸展超出由所述框架(3)限定的表面平面,并且/n所述印模包括载体和相应的具有结构元件的印模构件,其中,所述载体和/或所述印模构件如此柔性地来构造,以便能够被所述压印元件(8)相应地变形,其中,所述结构印模(5)设有在所述框架的背对所述印模面(2)的侧部上容纳所述框架(3)的保持框架(11),其中,所述结构印模(5)设有马达用于所述结构印模(5)的角度的自动取向,并且其中,所述框架(3)在所述框架(3)的相对而置的两个夹紧侧(10,10')处具有成对的相对而置的夹紧板条(4,4'),所述印模(1)被夹紧到所述夹紧板条中,其中,所述夹紧板条(4,4')中的一个被刚性地固定在所述框架(3)处而所述夹紧板条(4,4')中的另一个通过弹簧系统与所述框架(3)相联结,所述弹簧系统由多个弹簧(12)构成。/n
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