[发明专利]成膜方法和成膜装置有效
| 申请号： | 201280077793.6 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104870683B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 吉田隆;松本昌宏;谷典明;池田进;久保昌司 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 成膜方法是在成膜于被处理基板的包含无机物的无机层3上形成包含含氟树脂的有机层的成膜方法，在形成无机层时，进行使用了水蒸汽作为反应性气体的反应性溅射以在被处理基板上形成无机层，接下来，在无机层上形成有机层。成膜装置能够实施该成膜方法。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.成膜方法，是在成膜于被处理基板的包含无机物的无机层上形成包含含氟树脂的有机层的成膜方法，其特征在于，形成上述无机层时，进行使用Ar和作为反应性气体的水蒸气、并且Ar气流量为10～200sccm，水蒸气流量为100～400sccm的反应性溅射以在被处理基板上形成无机层，接下来，在该无机层上形成上述有机层。
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