[发明专利]用于SRAM电路的结构和方法有效
申请号: | 201310002598.3 | 申请日: | 2013-01-05 |
公开(公告)号: | CN103310834A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 廖忠志 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G11C11/413 | 分类号: | G11C11/413;H01L27/11;H01L21/8244 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供在半导体衬底中形成的集成电路。集成电路包括:具有第一单元尺寸的第一静态随机存取存储器(SRAM)单元;以及具有大于第一单元尺寸的第二单元尺寸的第二SRAM单元。第一SRMA单元包括第一n型场效应晶体管(nFET),每一个都具有第一栅叠层。第二SRAM单元包括第二nFET,每一个都具有不同于第一栅叠层的第二栅叠层。本发明还提供了用于SRAM电路的结构和方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 sram 电路 结构 方法 | ||
【主权项】:
一种在半导体衬底中形成的集成电路,包括:第一静态随机存取存储器(SRAM)单元,具有第一单元尺寸;以及第二SRAM单元,具有第二单元尺寸,所述第二单元尺寸大于所述第一单元尺寸,其中:所述第一SRAM单元包括每一个均具有第一栅叠层的第一n型场效应晶体管(nFET),以及所述第二SRAM单元包括每一个均具有第二栅叠层的第二nFET,所述第二栅叠层不同于所述第一栅叠层。
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