[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201310013802.1 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103722292B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 丁一荣;韩圭完;金俊亨 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/142 | 分类号： | B23K26/142 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 齐葵,王诚华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光加工装置，该激光加工装置利用激光，包括光源，用于沿第一方向形成中空激光束；反射部件，用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向所述基板的第二方向；透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔，所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，利用激光，所述激光加工装置的特征在于，包括：光源，用于沿第一方向形成中空激光束；反射部件，用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向基板的第二方向；透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔，所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。
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