[发明专利]用于鱼骨形差分电容器的结构和方法有效
| 申请号： | 201310014631.4 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103311218B | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 颜孝璁;林佑霖;郭晋玮;陈和祥;郑敏祺 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 用于鱼骨形差分电容器的结构和方法。本发明提供了一种集成电路，所述集成电路包括具有由第一轴线和与第一轴线垂直的第二轴线限定的表面的衬底；以及设置在所述衬底上的电容器结构。所述电容器结构包括第一导电部件；以及对称配置在所述第一导电部件相对侧的第二导电部件和第三导电部件。第一、第二以及第三导电部件通过相应的介电材料相互隔离。本发明还公开了用于鱼骨形差分电容器的结构和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 鱼骨 形差分 电容器 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体结构，包括：衬底，具有由第一轴线和与所述第一轴线垂直的第二轴线限定的表面；以及设置在所述衬底上的电容器结构，其中所述电容器结构包括：第一导电部件，所述第一导电部件包括以所述第一轴线为方向的第一主干部件；以及第二导电部件和第三导电部件，对称配置在所述第一导电部件的相对侧，其中所述第一导电部件、所述第二导电部件以及所述第三导电部件通过相应的介电材料相互隔离，其中，所述第二导电部件设置在所述第一导电部件的第一侧，并且所述第二导电部件包括以所述第二轴线为方向的多个第一分支部件和以所述第一轴线为方向并且连接至所述多个第一分支部件的一个第二主干部件，所述第三导电部件设置在所述第一导电部件的第二侧，并且所述第三导电部件包括以所述第二轴线为方向的多个第二分支部件和以所述第一轴线为方向并且连接至多所述多个第二分支部件的一个第三主干部件；连接至所述第一导电部件的第一屏蔽部件；以及连接至所述第二导电部件的第二屏蔽部件。
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