[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

摘要

提供能够抑制图像传输效率下降并有效进行缺陷检查的外观检查装置及外观检查方法。外观检查装置具有根据拍摄部拍摄形成有图案的基板表面而得到的图像来检测图案的缺陷的检查部。检查部包括：图像传输部，其用于将由拍摄部拍摄基板上的检查对象区域而得到并保存在图像保持存储器的图像数据，传输至多个图像处理用存储器；多个图形处理单元，在通过图像传输部向图像处理用存储器传输的图像数据中，对与各个处理对象区域相对应的图像数据执行用于检测缺陷的检查处理。检查部具有图像处理控制部，图像处理控制部与图像传输部的图像传输动作相独立地从检查任务保持部取得用于规定检查内容的检查任务，并且按照该检查任务对多个图形处理单元进行控制。

主权项

一种外观检查装置，根据拍摄部拍摄形成有图案的基板表面而得到的图像，来检测上述图案的缺陷，上述外观检查装置的特征在于，包括：图像传输部，其用于将由拍摄部拍摄基板上的检查对象的区域而得到并保存在图像保持存储器的、包含对上述区域分割而得到的多个部分区域的图像数据，以相同的内容分别传输至多个图像处理用存储器；多个图像处理部，在通过上述图像传输部向上述图像处理用存储器传输的传输完毕的图像数据所包含的上述多个部分区域中，对与各个处理对象区域相对应的一部分的部分区域执行用于检测缺陷的检查处理；图像处理控制部，其与上述图像传输部的图像传输动作相独立地取得用于规定检查内容的检查任务，并且按照该检查任务，将上述图像处理部和要进行检查处理的上述一部分的部分区域建立对应，对多个上述图像处理部进行控制。