[发明专利]一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置及方法

摘要

本发明公开了一种浮法在线制备TCO玻璃的方法及专用的镀膜装置。该镀膜装置的特点为：镀膜反应器为一包括双通道进气和双通道排气的长方体结构；其通过悬臂固定在浮法玻璃生产线上方，其下方位于浮法玻璃锡槽630-650℃的温度区域内；该镀膜反应器内还设置有：6个长方体的油冷循环腔；2个排气腔；位于中心线两侧壁板之间有一混合腔，宽度为100-200mm；之间有一气溶胶导向通道，其宽度为10-30mm；该方法包括步骤：1)制备基膜；2）将锡源、氟源掺杂剂与稳定剂、催化剂前驱体在镀膜反应器内混合后，形成TCO膜层。其投资小、成本低、可操作、易于维护，其TCO膜层均匀性良好、耐磨性、导电率及可见光透过率高；适于工业化生产。

主权项

一种浮法在线制备TCO玻璃的镀膜装置，它包括固装于顶板下方呈长方体结构的镀膜反应器；该镀膜反应器通过其顶板上固接的悬臂吊挂在浮法玻璃生产线的锡槽内；镀膜反应器的下方为开放式且正对穿过所述锡槽的玻璃输送带的上方；该镀膜反应器的长度与所述玻璃输送带的宽度相同；其特征在于：所述镀膜反应器包括油冷循环系统、2个气溶胶分配器和2个排气腔；其中，气溶胶分配器长向的两端板上分别开有与外设的气源管路和液源管路相接的管孔；所述排气腔长向的两端板上分别开有与外设的废气处理系统管路相接的管孔；所述油冷循环系统分设为6个长度相同，高度不同且与中线为准互为对称的油冷循环腔；其中，分布于中线两侧的油冷循环腔为上下重叠设置；同侧的上下2个油冷循环腔的外侧壁平齐，上方的油冷循环腔的内侧壁窄于位于下方的油冷循环腔的内侧壁，在其中线两侧的上方形成一混合腔；下方的2个油冷循环腔靠近中线的侧壁之间形成一气溶胶导向通道；在2个重叠设置的油冷循环腔外侧壁处各装有一个与其重叠设置的油冷循环腔高度相同的整体油冷循环腔；整体油冷循环腔的顶部与上方油冷循环腔的顶部均与所述顶板下表面固接；上下重叠设置的油冷循环腔和与其外壁相邻的整体油冷循环腔之间留有气流通道；在2个上方油冷循环腔腔体的中部各自装有所述气溶胶分配器，该气溶胶分配器的一侧壁与靠该油冷循环腔靠近中线的一侧壁固接，在该侧壁的上方开有一与混合腔相通的狭缝；位于狭缝下方的混合腔两侧的侧壁上水平交错装有若干挡板；在气溶胶分配器内腔的顶壁上装有若干雾化喷嘴，每个雾化喷嘴上开设有2个进口；其一为气源进口，其二为液源进口；在两侧的整体油冷循环腔内腔的上部各自装有所述排气腔，该排气腔的一侧壁与其整体油冷循环腔靠近中线的侧壁固接，在该侧壁的上方开有与所述气流通道相通的排气狭缝。