[发明专利]一种线性闭锁阀有效
| 申请号： | 201310034356.2 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103964699A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 沈双宇 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201614 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线性闭锁阀，属于玻璃真空镀膜技术领域。该线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述两个溅射腔室从接口处隔离。本发明通过提升机构带动门板，并有门板间的超薄气缸推动门板紧靠壳体内壁，将溅射室隔离，保证了溅射室维修时不用全部通入空气，方便维修，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 闭锁 | ||
【主权项】：
一种线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，其特征在于，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述溅射腔室隔离。
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