[发明专利]盘表面检查方法及其装置

摘要

本发明提供盘表面检查方法及其装置。在盘表面的检查中，为了能够从零散存在的擦伤缺陷中分离在盘上同心圆状产生的圆形擦伤缺陷，而向样本照射光，检测从样本反射的正反射光，从正反射光中分离正反射光附近的散射光来检测，检测在相对于样本的法线方向比正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光，处理正反射光检测信号、低角度散射光检测信号、高角度散射光检测信号来检测样本表面的缺陷，其中，检测样本的表面的缺陷是处理正反射光检测信号、低角度散射光检测信号、高角度散射光检测信号来提取缺陷候选，针对该提取的缺陷候选，根据从样本中心在半径方向上存在于预定的宽度的范围内的缺陷候选所占的圆周方向的比例，提取圆周状的缺陷。

主权项

一种盘表面检查装置，其特征在于，具备：台单元，其载置作为样本的磁介质的盘，能够旋转并且能够在与旋转的中心轴成直角的方向上移动；照明单元，其向载置在该台单元上的样本的表面侧的面照射光；正反射光检测单元，其检测从通过该照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光；低角度散射光检测单元，其从由通过上述照明单元被照射了光的上述样本的表面侧的面反射的正反射光中，分离该正反射光的附近的散射光来检测该散射光；高角度散射光检测单元，其检测从通过上述照明单元被照射了光的上述样本在相对于该样本的法线方向比上述正反射光的方向大的高角度方向上散射的散射光；以及处理单元，其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理，检测上述样本的表面的缺陷，其中，上述处理单元还具有：缺陷候选提取部，其对来自上述正反射光检测单元的输出信号、来自上述低角度散射光检测单元的输出信号以及来自上述高角度散射光检测单元的输出信号进行处理，提取缺陷候选；以及圆周状缺陷提取部，其针对通过该缺陷候选提取部提取出的缺陷候选，根据从上述样本的中心在半径方向上存在于预定的宽度的范围内的缺陷候选所占的圆周方向的比例，提取圆周状的缺陷。