[发明专利]部件安装装置及基板的制造方法

摘要

本发明提供一种可提高产品的产率的部件安装装置及基板的制造方法。上述部件安装装置具有基板保持单元、支撑单元、距离传感器及安装头。上述基板保持单元保持基板。上述支撑单元具有支撑由上述基板保持单元保持的上述基板的支撑体、及使上述支撑体的高度位置发生变化的位移机构。上述距离传感器测量从部件安装装置内的任意位置到由上述位移机构决定的上述支撑体的位置之间的距离。上述安装头保持部件，并将所保持的部件安装在由上述基板保持单元保持并由上述支撑体支撑的上述基板上。

主权项

一种部件安装装置，具备：保持基板的基板保持单元；支撑单元，所述支撑单元具有支撑由所述基板保持单元保持的所述基板的支撑体、以及使所述支撑体的高度位置发生变化的位移机构；距离传感器，所述距离传感器测量从部件安装装置内的任意位置到由所述位移机构决定的所述支撑体的位置之间的距离；安装头，所述安装头保持部件并将保持的所述部件安装到由所述基板保持单元保持的并由所述支撑体支撑的所述基板上；控制单元，所述控制单元存储从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置的作为目标的目标距离的信息，并根据所述目标距离及通过所述距离传感器检测到的从所述距离传感器的位置到所述支撑体的位置之间的距离，算出所述支撑体的从当前高度位置到目标高度位置之间的移动距离；保持所述安装头的安装头保持单元；以及升降单元，所述升降单元具有安装有所述安装头及所述距离传感器的可动部，并设置在所述安装头保持单元上，用于使所述可动部升降。