[发明专利]探针装置和探针卡的平行调整机构无效
| 申请号： | 201310056424.5 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103293349A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 秋山收司;龟田修宏;田中完尔 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G05D3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种探针装置和探针卡的平行调整机构，其能够抑制用于调整探针卡的平行度的驱动机构的部分的刚性的降低，并且能够高精度地保持探针卡和半导体晶片的平行度。本发明提供一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测，具有：载置台，其载置上述被检测基板；顶板，其将上述探针卡保持在上述载置台的上方；在四角对上述顶板进行支承的四个支承柱；升降机构，其配置于上述支承柱之中的至少三处，使上述顶板升降从而对上述探针卡和上述载置台上的上述被检测基板的平行度进行调整；和制动机构，其配置于上述升降机构的配置部位之中的至少一处，对上述顶板的升降施加制动，上述制动机构所施加的制动能够被解除。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 平行 调整 机构 | ||
【主权项】：
一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测，所述探针装置的特征在于，包括：载置台，其载置所述被检测基板；顶板，其将所述探针卡保持在所述载置台的上方；在四角对所述顶板进行支承的四个支承柱；升降机构，其配置于所述支承柱之中的至少三处，使所述顶板升降从而对所述探针卡和所述载置台上的所述被检测基板的平行度进行调整；和制动机构，其配置于所述升降机构的配置部位之中的至少一处，对所述顶板的升降施加制动，且所述制动机构所施加的制动能够被解除。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310056424.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
