[发明专利]开关管的衬底漏电测试方法有效
| 申请号： | 201310057398.8 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN104007332B | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 连晓谦;许文慧 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种开关管的衬底漏电测试方法，包括如下步骤以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围；以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压；其中，所述第一步长大于第二步长。上述测试方法，首先采用更大的第一步长进行粗扫描缩小测试电压的取值范围，然后采用步长更小的第二步长进行细扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压，相比于传统的直接采用小步长直接进行扫描测试的方法，可以大大减少测试次数，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 开关 衬底 漏电 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种开关管的衬底漏电测试方法，包括如下步骤：以第一步长在第一范围内进行扫描获取最大漏电流对应的栅极电压所在的第二范围；第二范围比第一范围更小；所述第一范围为0至3伏；以第二步长在所述第二范围内进行扫描得到最大漏电流及对应的栅极电压；其中，所述第一步长大于所述第二步长。
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