[发明专利]液体喷出头的制造方法有效
| 申请号： | 201310064360.3 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103287105A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王诗男 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种液体喷出头的制造方法，其包括：预备步骤，提供压电基板以及用于支撑所述压电基板的第一支撑基板和第二支撑基板；粘合步骤，使所述第一支撑基板的一个面粘合到所述压电基板的两个主面中的一个主面；槽形成步骤，在所述压电基板的所述两个主面中的另一个主面形成槽；电极形成步骤，在所述槽的侧面、所述槽的底面以及在所述槽形成之后残余的所述另一个主面中的至少一个面形成第一电极；接合步骤，使所述第二支撑基板的一个面与所述压电基板的所述另一个主面接合；以及分离步骤，使所述第一支撑基板从所述压电基板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷出 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液体喷出头的制造方法，其包括：预备步骤，提供压电基板以及用于支撑所述压电基板的第一支撑基板和第二支撑基板；粘合步骤，使所述第一支撑基板的一个面粘合到所述压电基板的两个主面中的一个主面；槽形成步骤，在所述压电基板的所述两个主面中的另一个主面形成槽；电极形成步骤，在所述槽的侧面、所述槽的底面以及在所述槽形成之后残余的所述另一个主面中的至少一个面形成第一电极；接合步骤，使所述第二支撑基板的一个面与所述压电基板的所述另一个主面接合；以及分离步骤，使所述第一支撑基板从所述压电基板分离。
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