[发明专利]热处理装置

摘要

本发明提供一种热处理装置，既具有较为简单的构成，且仅利用空气冷却便可将加热状态的基板有效地冷却的热处理装置。本发明的热处理装置通过使环境气体从外部流入至收容着基板的收容部而将基板冷却，所述收容部包括：多个支撑销，用以水平地支撑基板；开口部，供环境气体从外部沿水平方向流入；排气口，设置在与开口部相对向的位置处，且用以将环境气体排出；以及流速分布赋予单元，在基板由支撑销水平地支撑且被环境气体冷却时，使至少基板的下侧的环境气体的流动中，产生相比于开口部侧而具备排气口的一侧的流速更大的流速分布。

主权项

一种热处理装置，通过使环境气体从外部流入至收容着基板的收容部而将所述基板冷却，所述热处理装置的特征在于：收容所述基板的所述收容部包括：多个支撑销，用以水平地支撑所述基板；开口部，供所述环境气体从外部沿水平方向流入；排气口，设置在与所述开口部相对向的位置处，且用以将所述环境气体排出；以及流速分布赋予单元，在所述基板由所述支撑销水平地支撑且被所述环境气体冷却时，使至少所述基板的下侧的所述环境气体的流动中，产生具备所述排气口的一侧的流速比于所述开口部侧的流速更大的流速分布。