[发明专利]晶圆自动取放机械手

摘要

本发明公开了一种晶圆自动取放机械手，机械手臂能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板上，水平伸展定位板能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板上，垂直升降板能够沿竖直方向直线升降定位于基座上，所述水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置和垂直升降驱动装置分别驱动机械手臂、水平伸展定位板和垂直升降板动作，且所述机械手臂上设有至少一个吸盘，控制器分别控制水平伸展驱动装置、水平旋转驱动装置、垂直升降驱动装置和吸盘的真空吸引装置动作，本发明能够快速的将晶圆放入或取出晶圆盒，全自动化控制，无需人工辅助，取放速度快，取放位置准确。

主权项

1.一种晶圆自动取放机械手，其特征在于：包括固定安装于晶圆去膜设备机架上的基板(1)、水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)、垂直升降驱动装置(4)、水平伸展定位板(5)、垂直升降板(9)、机械手臂(10)和控制器，机械手臂(10)能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板(5)上，水平伸展定位板(5)能够绕竖直方向轴线旋转定位于垂直升降板(9)上，垂直升降板(9)能够沿竖直方向直线升降定位于基板上，所述水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)和垂直升降驱动装置(4)分别驱动机械手臂(10)、水平伸展定位板(5)和垂直升降板(9)动作，且所述机械手臂(10)上设有至少一个吸盘(11)，控制器分别控制水平伸展驱动装置(2)、水平旋转驱动装置(3)、垂直升降驱动装置(4)和吸盘(11)的真空吸引装置动作，所述机械手臂(10)能够在水平面内直线往复滑动定位于水平伸展定位板(5)上的结构为：水平伸展定位板(5)上能够与机械手臂(10)同向滑动设有一水平伸展台，所述水平伸展驱动装置(2)固定于该水平伸展台上，水平伸展驱动装置(2)为两端都具有输出轴的双轴马达，该双轴马达两端的输出轴分别设有一个齿轮(12)和一个主动皮带轮(13)，水平伸展定位板(5)上固设有一沿机械手臂(10)滑动方向的齿条，所述齿轮(12)与该齿条啮合传动，水平伸展台上设有被动皮带轮，还设有皮带(14)，所述皮带(14)套设于主、被动皮带轮外侧，且皮带(14)与机械手臂(10)止动连接。