[发明专利]切割/芯片接合薄膜有效

专利信息
申请号: 201310074897.8 申请日: 2013-03-08
公开(公告)号: CN103305144A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 田中俊平;土生刚志;龟井胜利 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: C09J7/02 分类号: C09J7/02;C09J7/00;C09J123/12;C09J123/14;C09J133/00;C09J163/00;C09J161/06;H01L21/683
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种切割薄膜与芯片接合薄膜之间的成分迁移受到抑制、并且切割时的半导体晶圆保持力和拾取时的剥离性优异的切割/芯片接合薄膜。本发明的切割/芯片接合薄膜具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。
搜索关键词: 切割 芯片 接合 薄膜
【主权项】:
一种切割/芯片接合薄膜,其具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。
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