[发明专利]切割/芯片接合薄膜有效
申请号: | 201310074897.8 | 申请日: | 2013-03-08 |
公开(公告)号: | CN103305144A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 田中俊平;土生刚志;龟井胜利 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J7/00;C09J123/12;C09J123/14;C09J133/00;C09J163/00;C09J161/06;H01L21/683 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种切割薄膜与芯片接合薄膜之间的成分迁移受到抑制、并且切割时的半导体晶圆保持力和拾取时的剥离性优异的切割/芯片接合薄膜。本发明的切割/芯片接合薄膜具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。 | ||
搜索关键词: | 切割 芯片 接合 薄膜 | ||
【主权项】:
一种切割/芯片接合薄膜,其具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。
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