[发明专利]光源光强均一性测调系统及测调方法有效
申请号: | 201310081790.6 | 申请日: | 2013-03-14 |
公开(公告)号: | CN103196554A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 井杨坤 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01J1/58 | 分类号: | G01J1/58 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 230011 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种光源光强均一性测调系统及方法,该系统包括光强测试板;光源和图像采集模块,向测试板照射光、采集其上的色差变化图像;微处理器,与图像采集模块连接,通过控制模块与光源连接,微处理器将色差变化图像与其内部存储的比色标准进行比较,获得测试板上整个面的光强分布,判断光源所发出的光强均一性是否良好,并通过控制模块对光源的光强进行调整。本发明借助于光强测试板,能够一次测定整个照射面的光强,获得一个随时间变化的光强面的图像,对整个光强的均匀程度也可以精确的显示出来,可用于封框胶固化、镀膜、刻蚀等设备的光强均一度调试,省时省力,数据精确。 | ||
搜索关键词: | 光源 均一 性测调 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种光源光强均一性测调系统,其特征在于,包括:光强测试板、光源、图像采集模块、微处理器和控制模块;所述光强测试板包括第一基板、第二基板以及位于两基板之间的光致变色材料;所述光源用于向所述光强测试板照射光;所述图像采集模块用于采集光强测试板的色差变化图像;所述微处理器与所述图像采集模块连接,接收所述色差变化图像并将色差变化图像与微处理器内部存储的比色标准进行比较,获得所述光强测试板整个面的光强分布,判断光源所发出的光强均一性情况;所述微处理器通过所述控制模块与所述光源连接,根据判断结果由所述控制模块对光源的光强进行调整。
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