[发明专利]TFT阵列基板、TFT阵列基板的制作方法及显示装置

摘要

本发明公开了一种TFT阵列基板、TFT阵列基板的制作方法及显示装置，以解决现有技术中过多使用掩膜板的问题。本发明提供的TFT阵列基板包括：栅线、栅电极、栅绝缘层、有源层、源漏电极、残余半导体层、信号线和形成在信号线和残余半导体层上的过孔，该过孔的侧壁使栅绝缘层、信号线和残余半导体层的侧断面暴露，底面使栅线表面暴露，并且过孔内形成有使信号线与栅线电性连接的搭接导电层。本发明中采用一次构图工艺形成位于栅电极上方的有源层、源极和漏极，以及位于栅线上方的残余半导体层和覆盖残余半导体层的信号线，能够减少掩膜板的使用。

主权项

一种TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，该方法包括：在基板上形成栅线和栅电极，并在所述栅线和所述栅电极上方形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上方依次沉积半导体层和金属层，采用一次构图工艺形成位于所述栅电极上方的有源层、源极和漏极，以及位于所述栅线上方的残余半导体层和覆盖所述残余半导体层的信号线；对所述信号线、位于信号线下方的残余半导体层以及栅绝缘层进行构图工艺，形成过孔，使所述栅线表面、所述信号线的侧断面和所述位于信号线下方的残余半导体层的侧断面暴露；在所述过孔位置处形成搭接导电层，使所述信号线与所述栅线电性连接。