[发明专利]摆臂软着陆方法

摘要

本发明公开了一种摆臂软着陆方法，其包括以下步骤：1）通过一驱动机构驱动固晶摆臂和摆臂支撑部向下首先运动至信号检测位，信号检测位位于中间位或者中间位和物料接触位之间，中间位位于起始位和物料接触位之间的中心点上；2）通过与传感器电连接的电控机构从信号检测位开始搜索传感器的触发信号，触发信号由第一触头部和第二触头部分离时所触发；3）固晶摆臂的头端接触到物料后，物料对固晶摆臂的头端形成一向上的反作用力，再通过其后端与摆臂支撑部连接处的柔性连接件的作用，其上的第一触头部由固晶摆臂的后端带动向下运动并与第二触头部分离。本发明可以更好地确保固晶品质、适用于芯片比较脆弱且对封装的平整度以及可靠性要求较高的半导体器件的封装。

主权项

摆臂软着陆方法，用于实现固晶机的固晶摆臂软着陆于物料上，其特征在于：包括以下步骤：1）将所述固晶摆臂从起始位送至信号检测位：初始状态下，安装于所述固晶摆臂上的传感器的第一触头部和安装于摆臂支撑部上的传感器的第二触头部保持接触状态，所述固晶摆臂和所述摆臂支撑部的连接处安装柔性连接件，此时通过一驱动机构驱动固晶摆臂和摆臂支撑部向下首先运动至信号检测位，所述信号检测位位于中间位或者中间位和物料接触位之间，所述中间位位于起始位和物料接触位之间的中心点上；2）从所述信号检测位开始搜索所述传感器的触发信号：所述驱动机构继续驱动所述固晶摆臂和摆臂支撑部向下运动，在所述固晶摆臂和摆臂支撑部从所述中间位向所述物料接触位运动的过程中，通过与所述传感器电连接的所述电控机构从所述信号检测位开始搜索所述传感器的触发信号，所述触发信号由所述第一触头部和第二触头部分离时所触发，并发出信号至所述电控机构，所述电控机构根据所述触发信号再对与其电连接的所述驱动机构进行控制；3）所述电控机构搜索到所述触发信号后控制所述驱动机构停止驱动：所述驱动机构继续驱动所述固晶摆臂和摆臂支撑部向下运动至所述物料接触位，所述固晶摆臂的头端接触到物料后，所述物料对所述固晶摆臂的头端形成一向上的反作用力，所述固晶摆臂受到所述反作用力后，通过其后端与所述摆臂支撑部连接处的所述柔性连接件的作用，其上的所述第一触头部由所述固晶摆臂的后端带动向下运动并与所述第二触头部分离，此时产生所述触发信号并发送至所述电控机构，所述电控机构根据所述触发信号控制所述驱动机构停止，所述驱动机构停止驱动所述固晶摆臂和摆臂支撑部继续向下运动，此时所述固晶摆臂停止在所述物料上不再继续向下。