[发明专利]真空镀膜系统及其镀膜方法

摘要

本发明提供一种能够在真空泵开始工作前减小真空室的压强，起到为真空泵节省能耗的作用的真空镀膜系统及镀膜方法。本发明的真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括：辅助减压装置，用于在真空泵工作前，对真空室内的空气进行抽吸，与真空室达到气压平衡状态；和控制部，用于对真空镀膜机和辅助减压装置进行控制，其中，辅助减压装置含有：辅助减压舱，为密闭腔体，体积与真空室的体积相对应；连接管，一端与真空室相连通，另一端与辅助减压舱相连通；以及阀门，安装在连接管上，控制部，用于控制真空镀膜机工作，和阀门的开启、关闭，并控制真空泵对真空室进行抽吸至真空状态。

主权项

一种真空镀膜系统，包括具有镀膜部、真空室以及对该真空室内的空气进行抽吸至真空状态的真空泵的真空镀膜机，其特征在于，还包括：辅助减压装置，用于在所述真空泵工作前，对所述真空室内的空气进行抽吸，与所述真空室达到气压平衡状态；和控制部，用于对所述真空镀膜机和所述辅助减压装置进行控制，其中，所述辅助减压装置含有：辅助减压舱，为密闭腔体，体积与所述真空室的体积相对应；连接管，一端与所述真空室相连通，另一端与所述辅助减压舱相连通；以及阀门，安装在所述连接管上，所述控制部，用于控制所述真空镀膜机工作，和所述阀门的开启、关闭，并基于所述辅助减压舱的体积与所述真空室的体积的对应关系控制所述真空泵对所述真空室进行抽吸至真空状态。