[发明专利]基板处理装置及方法有效
| 申请号： | 201310106917.5 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103365120A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李晟熙;刘同真 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;F16K11/10 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;陈桂香 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种可于基板的整体区域以均匀的厚度提供处理液的膜的基板处理装置及方法。本发明提供向基板供给处理液并于基板上形成处理液的膜的装置。装置具有执行基板处理的处理室，处理室具有沿着基板搬入的开口所形成的外壳及开口的横方向对开放宽度进行调节的门装配件。门装配件具有沿着开口的横方向呈一列而提供的门，门是分别各自进行驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其是处理基板的装置，包括：外壳，其具有搬入基板的开口；喷嘴，其由所述外壳内提供，向基板供给处理液；及门装配件，其用以调节所述开口的开放宽度，所述门装配件具有：沿着所述开口的横方向并排提供的多个门，及所述门之中至少一个向上下方向移动的驱动器。
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