[发明专利]传输装置、传输方法、传输系统及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201310107908.8 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN104078401A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传输装置、传输方法、传输系统及等离子体加工设备，该传输装置包括第一驱动源、第二驱动源、传动臂和取件器，其中，取件器用于运载工件；第一驱动源借助传动臂与取件器连接，用以驱动传动臂移动，以使其带动取件器自取件位置移动至放件位置；第二驱动源与传动臂固定连接，并且第二驱动源的驱动轴与取件器连接，用以驱动取件器在自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度。本发明提供的传输装置可以降低甚至避免传输装置产生大幅度震荡，从而可以实现在保证传输装置无震荡的前提下驱动取件器自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度，进而可以提高传输装置的传输效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 方法 系统 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种传输装置，包括第一驱动源、传动臂和取件器，其中，所述取件器用于运载工件；所述第一驱动源借助所述传动臂与所述取件器连接，用以驱动所述传动臂移动，以使其带动所述取件器自取件位置移动至放件位置；其特征在于，所述传输装置还包括第二驱动源，所述第二驱动源与所述传动臂固定连接，并且所述第二驱动源的驱动轴与所述取件器连接，用以驱动所述取件器自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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